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射频溅射

采用射频电源代替直流电源，在靶和衬底间施加高频电压，不锈钢镀钛哪里有，溅射时，靶极会产生自偏压效应即靶极会自动处于负电位状态，使绝缘靶的溅射得到维持。常用的频率约为13.56兆赫。

优点可以溅射所有材料，包括导体和绝缘体溅射可---生产

磁控溅射

磁控溅射通过在靶阴极表面引入正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面，成螺旋状运行来增强电离效率，增加离子密度和能量以增加溅射率。电源方面可同时配备直流和射频两种。